IUN1_2008_S12a.pdf
CC BY-NC-SA 4.0
Einzigartige Präzisionsanlage
Datierung (individuell):
2007
Objekttyp:
Zeitschriften/Hochschule/Artikel
Besitzende Institution / Datengeber:
Primärdaten:
Übergeordnetes Objekt:
Beschreibung:
- Inbetriebnahme einer weltweit einzigartigen Anlage zur Ultrapräzisionsbearbeitung mikrooptischer Bauelemente und hybrider Mikrosysteme, Typ Microgantry® nano4x
Enthaltene Objekte: