Jenaer Universität entwickelte Spitzengerät - Kollektiv Gerätekybernetik der Sektion Mathematik trug die Verantwortung für die Software der Elektronenstrahlbelichtungsanlage ZBA 20
Objekttyp:
Zeitschriften/Ingenieurwissenschaften/Artikel
Besitzende Institution / Datengeber:
Primärdaten:
Übergeordnetes Objekt:
Beschreibung:
- Erzeugnisgruppe Mikrolithographische Geräte
Rubrik:
- Forschung und Wissenschaft
- Projekte
- Uni und Praxis
- Ehrungen/Preise