nh_28_1985_02_0008.tif
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CC BY-NC-SA 4.0
Jenaer Universität entwickelte Spitzengerät - Kollektiv Gerätekybernetik der Sektion Mathematik trug die Verantwortung für die Software der Elektronenstrahlbelichtungsanlage ZBA 20
Erwähnte Person:
Oswald, Horst
Erwähnte Person:
Objekttyp:
Zeitschriften/Ingenieurwissenschaften/Artikel
Besitzende Institution / Datengeber:
Übergeordnetes Objekt:
Beschreibung:
- Erzeugnisgruppe Mikrolithographische Geräte Rubrik: - Forschung und Wissenschaft - Projekte - Uni und Praxis - Ehrungen/Preise